一种方便出料的钛丝退火炉制造技术

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　　本技术公开了一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体，所述拼接插槽内壁插合安装有拼接插块，且拼接插块上端固定连接有冷却风扇，所述退火炉主体上端边缘安装有升降导轨，且升降导轨一侧插合安装有伺服电机，所述伺服电机输出端安装有驱动齿轮，且驱动齿轮之间啮合安装有封闭门板。该方便出料的钛丝退火炉内壁通过电动推杆、导板、导槽和滑珠带动置料架进行稳定限位推拉出料，还能够通过滚轮和滚槽带动置物板对开抽拉，方便进行两侧同时上下料，效率更佳，而且置料架能够最终靠冷却风扇进行垂直吹风，可以有效降温处理，并且冷却风扇方便能够最终靠拼接插块、锁紧旋钮和拼接插槽进行快速拆装更换使用，使用方便。

　　1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不一样的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

　　2、钛丝，是银白色的金属，它具有许多优良性能，钛的密度为4.54g/cm3，比钢轻43%，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。

　　3、现有cn214458215u一种钛丝退火炉利用拉动两个拉动把手可以将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率，但有不足之处，现有的设备出料稳定性不佳，并且上下料不方便，并且不可以进行对出料产品做有效的降温出料，使用不方便，从而需要一种方便出料的钛丝退火炉解决上述的问题。

　　1.一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体（1），所述退火炉主体（1）前侧安装有控制主机（3），且退火炉主体（1）下端固定连接有支撑底座（2），其特征是：所述退火炉主体（1）内壁下端两侧开设有导槽（13），且导槽（13）内壁插合安装有导板（8），所述导板（8）两侧镶嵌安装有滑珠（14），且导板（8）上端固定连接有置料架（6），所述置料架（6）内壁开设有滚槽（19），且滚槽（19）内壁安装有置物板（10），所述置物板（10）两侧边缘安装有滚轮（18），所述导板（8）另一侧安装有电动推杆（7），且电动推杆（7）于支撑底座（2）内壁边缘镶嵌安装，所述支撑底座（2）上端边缘开设有拼接插槽（1

　　1.一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体（1），所述退火炉主体（1）前侧安装有控制主机（3），且退火炉主体（1）下端固定连接有支撑底座（2），其特征是：所述退火炉主体（1）内壁下端两侧开设有导槽（13），且导槽（13）内壁插合安装有导板（8），所述导板（8）两侧镶嵌安装有滑珠（14），且导板（8）上端固定连接有置料架（6），所述置料架（6）内壁开设有滚槽（19），且滚槽（19）内壁安装有置物板（10），所述置物板（10）两侧边缘安装有滚轮（18），所述导板（8）另一侧安装有电动推杆（7），且电动推杆（7）于支撑底座（2）内壁边缘镶嵌安装，所述支撑底座（2）上端边缘开设有拼接插槽（17），且拼接插槽（17）前后侧均插合安装有锁紧旋钮（16），所述拼接插槽（17）内壁插合安装有拼接插块（15），且拼接插块（15）上端固定连接有冷却风扇（4），所述退火炉主体（1）上端边缘安装有升降导轨（11），且升降导轨（11）一侧插合安装有伺服电机（20），所述伺服电机（20）输出端安装有驱动齿轮（12），且驱动齿轮（12）之间啮合安装有封闭门板（5）。

　　2.根据权利要求1所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征是：所述冷却风扇（4）于支...