一种钛丝盘退火炉pdf

　　本实用新型提供一种钛丝盘退火炉，属于退火炉技术领域，该钛丝盘退火炉包括：退火炉本体；固定座，固定连接于退火炉本体的上端；去灰机构，去灰机构包括；过滤盒，固定连接于固定座的上端；透水盒，固定连接于过滤盒的上端；两个滤板，固定连接于透水盒的下端；壳盖，固定连接于透水盒的上端；进水管，固定连接于壳盖的上端；导风管，固定连接于过滤盒的一侧端；本设在使用退火炉本体后，通过运行抽风设备可将退火炉本体内灰尘通过导风管导入过滤盒内，通过对进水管内导入水，从而可使得水通过透水盒均匀的落在滤板表面，再通过排水管导出

　　2.根据权利要求1所述的一种钛丝盘退火炉，其特征是：所述退火炉本体(1)的一侧

　　端固定连接有连接板(5)，所述连接板(5)的一侧端固定连接有监视设备(6)。

　　3.根据权利要求2所述的一种钛丝盘退火炉，其特征是：所述退火炉本体(1)的下端

　　4.根据权利要求3所述的一种钛丝盘退火炉，其特征是：所述移动座(3)的上端固定

　　连接有连接框(11)，所述退火炉本体(1)的一侧端固定连接有两个滑行杆(10)，所述连接框

　　(11)的上端固定连接有固定板(9)，所述固定板(9)的上端固定连接有放置座(8)。

　　5.根据权利要求4所述的一种钛丝盘退火炉，其特征是：所述退火炉本体(1)的一侧

　　端固定连接有配合座(7)，所述连接框(11)的一侧端固定连接有压板(2)。

　　6.根据权利要求5所述的一种钛丝盘退火炉，其特征是：所述退火炉本体(1)的一侧

　　端固定连接有固定块(21)，所述固定块(21)的一侧端固定连接有梯子(22)。

　　[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影

　　响其电性能。热处理是针对不一样的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换

　　成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注

　　入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

　　的石英管，所炉管的前后两端分别设有前端盖和后端盖，石英管外壁与炉管内壁之间形成

　　加热腔，石英管与前端盖和后端盖之间形成反应腔，后端盖上装设有伸入至反应腔内并延

　　伸至前端盖附近的管内气冷吹扫组件，炉管上装设有与加热腔连通的管外气冷吹扫组件。

　　[0004]以上描述的专利可以轻松又有效的显著出提高降温速度的效果，但现存技术中在进行使用退火

　　炉本体后，退火炉本体内有大量气味和细小颗粒，从而对工作环境能够造成影响，并对工作人员

　　[0005]本实用新型的目的是提供一种钛丝盘退火炉，旨在解决现存技术中的在进行使

　　用退火炉本体后，退火炉本体内有大量气味和细小颗粒，从而对工作环境能够造成影响，并对工

　　[0019]作为本实用新型一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有连接板，

　　[0020]作为本实用新型一种优选的方案，所述退火炉本体的下端固定连接有滑道，所述

　　[0021]作为本实用新型一种优选的方案，所述移动座的上端固定连接有连接框，所述退

　　火炉本体的一侧端固定连接有两个滑行杆，所述连接框的上端固定连接有固定板，所述固

　　[0022]作为本实用新型一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有配合座，

　　[0023]作为本实用新型一种优选的方案，所述退火炉本体的一侧端固定连接有固定块，

　　[0025]1、本方案，在使用退火炉本体后，通过运行抽风设备可将退火炉本体内灰尘通过

　　导风管导入过滤盒内，通过对进水管内导入水，从而可使得水通过透水盒均匀的落在滤板

　　表面，进而达到对细小颗粒进行收集，减少了设备内细小颗粒对工作人员呼吸安全造成影

　　[0026]2、本方案，通过设置在固定板上的压板，通过与配合座配合，从而可将退火炉本体

　　内封闭的效果，通过设置在连接板一侧的监视设备，设备在运行时可进行观察的效果，通过

　　[0027]附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用

　　新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

　　[0032]图中：1、退火炉本体；2、压板；3、移动座；4、过滤盒；5、连接板；6、监视设备；7、配合

　　座；8、放置座；9、固定板；10、滑行杆；11、连接框；12、滑道；13、导风管；14、进水管；15、壳盖；

　　16、透水盒；17、滤板；18、抽风设备；19、排水管；20、固定座；21、固定块；22、梯子。

　　[0033]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行

　　清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的

　　实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没做出创造性劳动前提下

　　[0048]在本实用新型的具体实施例中，通过设置在退火炉本体1一侧的连接板5，起到了

　　可固定安装监视设备6的作用，通过设置在连接板5一侧的监视设备6，起到了可对设备做

　　监控的作用，通过设置在退火炉本体1一侧的配合座7，起到了可与压板2进行配合的，通过

　　设置在连接框11一侧的压板2，起到了可封闭退火炉本体1的作用，通过设置在退火炉本体1

　　下的滑道12，起到了可使得移动座3进行滑动的作用，通过设置在滑道12上的移动座3，起到

　　了可带动加热件进行移动的作用，通过设置在移动座3上的连接框11，起到了可通过滑行杆

　　10进行稳定滑动的作用，通过设置在连接框11上的固定板9，起到了可固定安装放置座8的

　　作用，通过设置在固定板9上的放置座8，起到了可放置加热件的作用，通过设置在退火炉本

　　体1一侧的固定块21，起到了可固定安装梯子22的作用，通过设置在固定块21一侧的梯子

　　22，起到了可工作人员对设备进行上面做维修的作用，通过设置在退火炉本体1上的导风

　　管13，起到了可对退火炉本体1内的粉尘颗粒通过抽风设备18抽出的作用，通过设置在退火

　　炉本体1上的固定座20，起到了可对过滤盒4进行稳定支撑的作用，通过设置在透水盒16下

　　的滤板17，起到了可对灰尘颗粒进行过滤的作用，通过设置在壳盖15下的透水盒16，起到了

　　可对滤板17表面淋水的作用，通过设置在过滤盒4一侧的排水管19，起到了可将吸附灰尘的

　　水导出的作用，有必要进行说明的是：具体使用何种型号的退火炉本体1、监视设备6和抽风设

　　备18由熟悉本领域的有关技术人员自行选择，且以上关于退火炉本体1、监视设备6和抽风

　　[0049]具体的请参阅图2，退火炉本体1的一侧端固定连接有连接板5，连接板5的一侧端

　　[0050]本实施例中：通过设置在退火炉本体1一侧的连接板5，起到了可固定安装监视设

　　备6的作用，通过设置在连接板5一侧的监视设备6，起到了可对设备做监控的作用。

　　[0051]具体的请参阅图2，退火炉本体1的下端固定连接有滑道12，滑道12的上端滑动连

　　[0052]本实施例中：通过设置在退火炉本体1下的滑道12，起到了可使得移动座3进行滑

　　动的作用，通过设置在滑道12上的移动座3，起到了可带动加热件进行移动的作用。

　　[0053]具体的请参阅图2，移动座3的上端固定连接有连接框11，退火炉本体1的一侧端固

　　定连接有两个滑行杆10，连接框11的上端固定连接有固定板9，固定板9的上端固定连接有

　　[0054]本实施例中：通过设置在移动座3上的连接框11，起到了可通过滑行杆10进行稳定

　　滑动的作用，通过设置在连接框11上的固定板9，起到了可固定安装放置座8的作用，通过设

　　[0055]具体的请参阅图2，退火炉本体1的一侧端固定连接有配合座7，连接框11的一侧端

　　[0056]本实施例中：通过设置在退火炉本体1一侧的配合座7，起到了可与压板2进行配合

　　[0057]具体的请参阅图4，退火炉本体1的一侧端固定连接有固定块21，固定块21的一侧

　　[0058]本实施例中：通过设置在退火炉本体1一侧的固定块21，起到了可固定安装梯子22

　　的作用，通过设置在固定块21一侧的梯子22，起到了可工作人员对设备做上面进行维修

　　[0059]本实用新型的工作原理及使用流程：在使用退火炉本体1后，通过运行抽风设备18

　　可将退火炉本体1内灰尘通过导风管13导入过滤盒4内，通过对进水管14内导入水，从而可

　　使得水通过透水盒16均匀的落在滤板17表面，再通过排水管19导出，进而达到对细小颗粒

　　[0060]最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用

　　新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，

　　其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案做修改，或者对其中部分技术特征进行等

　　同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含

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